ICS 31.080.30 CCS L 44 团体 标准 T/CASAS 037—2025 代替 T/CASAS 037 —2024 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 （SiC MOSFET ） 栅极电荷试验方法 Gate charge test method for silicon carbide metal -oxide- semiconductor field effect transistor （SiC MOSFET ） 2025 - 12 - 30发布 2025 - 12 - 30实施 第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CASAS 037 —2025 I 目次 前言 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ ...... II 引言 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .... III 1 范围 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ................................ ................................ .............. 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ................................ ................................ ...................... 1 4 试验原理 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 2 栅极电荷试验基本原理 ................................ ................................ ................................ ........................... 2 感性负载（双脉冲）电路试验原理 ................................ ................................ ................................ ....... 4 阻性负载（单脉冲）电路试验原理 ................................ ................................ ................................ ....... 5 5 试验设备 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 6 电源设备 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 6 5.1.1 栅极电压源 ................................ ................................ ................................ ................................ ........ 6 5.1.2 栅极电流源 ................................ ................................ ................................ ................................ ........ 6 5.1.3 漏极电压源 ................................ ................................ ................................ ................................ ........ 6 量测设备 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 6 5.2.1 栅极电压探头 ................................ ................................ ................................ ................................ .... 6 5.2.2 栅极电流探头 ................................ ................................ ................................ ................................ .... 6 5.2.3 漏极电压探头 ................................ ................................ ................................ ................................ .... 6 5.2.4 漏极电流探头 ................................ ................................ ................................ ................................ .... 6 回路寄生 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 6 5.3.1 栅极驱动 ................................ ................................ ................................ ................................ ............ 7 6 试验条件 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 7 7 试验程序 ................................ ................................ ................................ ......